Augerelektronenspektrometrie / Scanning Auger Mikroskopie

Lateral hochauflösendes Augerelektronenspektrometer
(Auger 680/710e Hybrid Nanoprobe,
Physical Electronics)

Elemente: Li bis U

Nachweisvermögen: qualitativ und halbquantitativ > 0,1 % (Element abhängig);

Messmöglichkeiten: Linien-, Punktanalysen und Elementverteilung über die Fläche von ∅ > 14 nm bis µm und durch Ionenabtrag in die Tiefe von 1 nm bis 1 µm

Materialien: elektrisch leitende und halbleitende Feststoffe und Schichten

Anwendungen:

• Oberflächen und Matrix, Grenzflächen und in-Situ-Bruchflächen (im UHV sind Brüche unterschiedlicher Probeformen möglich) 
• Stähle, Legierungen, Hartstoffe, Hartmetalle, Supraleiter, Viellagenschichten (ab 5 nm)
  Makro-, Mikro- bis Nanosysteme wie z.B. Formeinsätze, Sensoren, Stents, Mikroreaktoren, etc.