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Augerelektronenspektrometrie / Raster Augerelektronen Mikroskopie

 

Lateral hochauflösendes Augerelektronenspektrometer
(Auger 680/710e Hybrid Nanoprobe,
Physical Electronics)

 

Typische Messungen:

  • SE Bilder (SEM)

  • Elementverteilungsbilder (MAP)

  • Punktanalysen, Spektrum (SPE)

  • Linienanalysen (LIN)

  • Teifenprofilierung (PRO)

 

Anwendungen:

  • in-Situ-Bruchflächen (im UHV sind Brüche unterschiedlicher Probeformen möglich) 

  • Oberflächen und Matrix, Grenzflächen und Schichtübergänge, Diffusionscharakterisierung

  • Stähle, Legierungen, Hartstoffe, Hartmetalle, Supraleiter, Viellagenschichten,
    Makro-, Mikro- bis Nanosysteme wie z.B. Formeinsätze, Sensoren, Stents, Mikroreaktoren, Halbleitersyteme etc. 

Elemente:

Lithium bis Uran

 

Auflösungsvermögen:

Elektronenstrahldurchmesser 24 nm       (bei 20 kV und 10 nA)

Tiefenauflösung 0,5 bis 5 nm (abhängig von der Energie des Augerelektrons)

Energieauflösung 0,5 bis 0,1 %

 

Nachweisvermögen:

qualitativ und halbquantitativ, ab einem Gehalt von > 0,1 bis 5 Atom% (elementabhängig)

quantitativ (nur unter Verwendung von Standardproben möglich!)

 

Messmöglichkeiten:

Linien-, Punktanalysen und Elementverteilung über die Fläche von ∅ > 24 nm bis µm und durch Ionenabtrag in die Tiefe von 1 nm bis 1 µm.

 

Materialien:

elektrisch leitende und halbleitende Feststoffe und Schichten

 

Limitierende Probeneigenschaften:

  • maximale Probengröße 60 mm Durchmesser
  • maximale Probenhöhe 14 mm (standardmäßig) bis 24 mm (mit Einschränkungen)
  • Proben müssen fest bzw. stabil unter Vakuum- bedingungen sein (10-7 Pa)
  • Proben müssen elektronenstrahlstabil sein