Lateral hochauflösendes Augerelektronenspektrometer
Typische Messungen:
Anwendungen:
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Elemente:Lithium bis Uran
Auflösungsvermögen:Elektronenstrahldurchmesser 24 nm (bei 20 kV und 10 nA) Tiefenauflösung 0,5 bis 5 nm (abhängig von der Energie des Augerelektrons) Energieauflösung 0,5 bis 0,1 %
Nachweisvermögen:qualitativ und halbquantitativ, ab einem Gehalt von > 0,1 bis 5 Atom% (elementabhängig) quantitativ (nur unter Verwendung von Standardproben möglich!)
Messmöglichkeiten:Linien-, Punktanalysen und Elementverteilung über die Fläche von ∅ > 24 nm bis µm und durch Ionenabtrag in die Tiefe von 1 nm bis 1 µm.
Materialien:elektrisch leitende und halbleitende Feststoffe und Schichten
Limitierende Probeneigenschaften:
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