Dünne Schichten für Lithium-Ionenspeichertechnologie und ferromagnetische, hochfrequenztaugliche Nanokompositschichten werden mittels PVD abgeschieden und hinsichtlich ihres Aufbaus und der funktionellen Eigenschaften charakterisiert. Die Grundlagen zur Materialoptimierung hinsichtlich der jeweiligen Funktionen werden erarbeitet.
Mikrostrukturierte FeCoTaN-Schicht mit mikromagnetischer Simulation |
Beugungsbild (TEM) einer Fe-Co-Hf-N- Schicht |