Zeiss Crossbeam 550 installiert

Am Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Grenzflächenmechanik (IAM-MMI) wurde ein einzigartiges Mikroskop mit fokussiertem Ionenstrahl (FIB) installiert. Das Mikroskop ist das Herzstück der In situ Mikromechanik-Aktivitäten und ermöglicht die Untersuchung mechanischer und funktioneller Eigenschaften von Werkstoffen  verschiedener Längenskalen.

Das Zeiss Crossbeam 550 verfügt über eine leistungsstarke Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (REM) GEMINI II Säule mit mehreren Detektoren, wie einem In-Lens-Sekundärelektronen-Detektor, einem energieselektiven Rückstreudetektor und einem segmentierten STEM-Detektor. Die Gallium-FIB ist sowohl mit Kohlenstoff- als auch mit Platin-Gasinjektionssystemen ausgestattet. Das faszinierendste Merkmal des Mikroskops ist ein Femtosekundenlaser, der im Vergleich zu anderen FIBs Materialien mit einer um 4-6 Größenordnungen schnelleren Fräsrate bearbeiten kann. Laser, REM und FIB sind über einen korrelativen Arbeitsablauf miteinander verbunden, der eine präzise Positionierung der zu bearbeitenden Objekte ermöglicht.

Die Maschine wird in den Forschungsprogrammen "Information / P3T1", "Materials and Technologies for Energy Transition" und "Fusion" zum Einsatz kommen, die von der Robert Bosch Stiftungsprofessur für nanostrukturierte Funktionswerkstoffe mitfinanziert wurden.