Institute for Project Defaults

Hochleistungsschutzschichten

Dr. Michael Stüber

In der Arbeitsgruppe Hochleistungsschutzschichten werden neue multifunktionale Dünnschichtwerkstoffe mit maßgeschneiderten Gefügen und Eigenschaften unter Anwendung spezieller Konzepte für ein nanoskaliertes Schichtdesign und Kombination verschiedener Hartstoffe entwickelt.

Hartstoffe Eigenschaften

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Innovative Sputtertargets zur Abscheidung von TiC/a-C Nanokompositschichten (Kooperation KIT/Plansee Composite Materials GmbH)

Magnetron-gesputterte TiN/ZrN Viellagenschicht