J. Prokop, C. Eberl, M. Funk,
J. Lorenz, P. Prüfe, V. Piotter,
H. J. Ritzhaupt-Kleissl

2.Industriekolloquium der Forschergruppe 702 'Mikrobauteile', Hrsg. Erlangen : Lehrstuhl f.Kunststofftechnik, Seiten 25-35 (2010)

Für die erfolgreiche Weiterentwicklung der Mikrosystemtechnik ist es unerlässlich, bestehende Verfahren zur Herstellung von metallischen Mikrobauteilen zu optimieren und neue Verfahren zu entwickeln. Nur dadurch können neue Produkte wirtschaftlich hergestellt werden. Dazu wurde ein Verfahren entwickelt, bei dem über das Mehrkomponenten-Spritzgießen, kombiniert mit der Galvanoformung, kurz MSG-Prozess, metallische Mikrobauteile mit Oberflächenqualitäten entstehen, die vergleichbar mit denen der LIGA-Technik [BEH86] sind. Das Besondere an dieser neuen Prozessfolge, die in Abb. 1 schematisch dargestellt ist, ist die Kombination aus dem Massenfertigungsverfahren Spritzgießen und der Galvanoformung, die für die Herstellung von Mikrobauteilen bislang nur in der LIGA-Technik angewendet wird. Durch diese neue Fertigungskette können Mikrobauteile in LIGA-Qualität auch in Massenanwendungen eingesetzt werden.