Dünne Schichten für Lithium-Ionenspeichertechnologie und ferromagnetische, hochfrequenztaugliche Nanokompositschichten werden mittels PVD abgeschieden und hinsichtlich ihres Aufbaus und der funktionellen Eigenschaften charakterisiert. Die Grundlagen zur Materialoptimierung hinsichtlich der jeweiligen Funktionen werden erarbeitet.
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| Mikrostrukturierte FeCoTaN-Schicht mit mikromagnetischer Simulation |
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| Beugungsbild (TEM) einer Fe-Co-Hf-N- Schicht |
