Multifunktionale PVD-Beschichtungsanlage Oerlikon Metaplas MZR 303 RF:
DC- und HF-Magnetron-Sputtern sowie kathodische Bogenverdampfung
Magneto-Optical Kerr-Effect (MOKE)
Vibrating Sample Magnetometer (VSM)
HF-Permeameter bis 6 GHz
