In der Gruppe Funktionsschichten werden weichmagnetische Dünnschichten und Funktionsschichten mittels physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD) entwickelt, realisiert und bezüglich ihres Aufbaus, ihrer Eigenschaften und ihres grundlegenden statischen und dynamischen Verhalten untersucht und charakterisiert. Als Herstellungsverfahren wird das reaktive und nichtreaktive Magnetronkathodenzerstäuben als DC und HF-Prozess verwendet.

In der Arbeitsgruppe Hochleistungsschutzschichten werden neue multifunktionale Dünnschichtwerkstoffe mit maßgeschneiderten Gefügen und Eigenschaften unter Anwendung spezieller Konzepte für ein nanoskaliertes Schichtdesign und Kombination verschiedener Hartstoffe entwickelt.