Diese Vorlesung vermittelt die Grundlagen der Herstellung, der Mikrostruktur und sich daraus ergebender, spezifischer thermodynamischer Eigenschaften von dünnen Schichten. Die Studierenden kennen Grundlagen der UHV (Ultra-Hoch-Vakuum)-Technik und grundlegende Methoden der physikalischen und mechanischen Schichtcharakterisierung. Sie kennen unterschiedliche Methoden der Schichterzeugung und können deren jeweilige Vor- und Nachteilen benennen. Die Studierenden sind mit den verschiedenen Keimbildungs- und Wachstumsmodi und der Epitaxi von Schichten zum Substrat vertraut und können die resultierenden Schichtstrukturen benennen und klassifizieren. Die Studierenden können prinzipielle Unterschiede der physikalischen Eigenschaften von Bulk-Materialien und dünnen Schichten beschreiben und begründen. Sie wissen, wie sich diese Unterschiede auf die Stabilitätsbereiche thermodynamischer Phasen von Legierungen auswirken und wie sich dies zur Eigenschafts-Optimierung dünner Schichten nutzen läßt.